Search results for "Magnetronā izputināšanas metode"

ZnO plāno kārtiņu izgatavošana pie zemām temperatūrām ar reaktīvo magnetrono izputināšanas metodi un to raksturošana

2017

Darbā tika izgatavotas cinka oksīda (ZnO) plānās kārtiņas ar reaktīvo magnetrono izputināšanas metodi pie zemām temperatūrām. Šim nolūkam vakuuma iekārta tika aprīkota ar dzesētāju. Paraugu struktūra tika pētīta ar XRD, FTIR spektroskopiju, tika mērīta gaismas absorbcija. Iegūtie mērījumu dati tika analizēti atkarībā no dažādiem parametriem (temperatūra, kārtiņas biezums, u.c.). Rezultāti tika salīdzināti ar ZnO plānajām kārtiņām, kas izgatavotas bez pamatnes dzesēšanas, kā arī pie paaugstinātas temperatūras. Literatūrā nav viennozīmīgas informācijas par amorfu ZnO plāno kārtiņu īpašībām, kamēr kristāliska ZnO plānās kārtiņas ir plaši izpētītas. Līdz ar to amorfu ZnO kārtiņu izgatavošana ar…